TN-EVS180G-LV 等離子濺射熱蒸發(fā)二合一鍍膜儀配備了直流濺射靶和熱蒸發(fā)組件，不但可以用于等離子濺射方式鍍金屬膜，也可以用蒸發(fā)的方式得到碳或者其他金屬單質(zhì)的薄膜。儀器元件高度集成化，在同一個(gè)腔體內(nèi)即實(shí)現(xiàn)了兩種鍍膜功能；該小型二合一鍍膜儀采用高純石英腔體作真空腔體，鍍膜過程完全可見。儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達(dá)到1.0E-1Pa的真空度，可滿足大多數(shù)蒸發(fā)鍍膜實(shí)驗(yàn)和二極濺射實(shí)驗(yàn)所需的真空環(huán)境。本小型二合一鍍膜儀體積小能夠置于試驗(yàn)臺(tái)上使用，一機(jī)多用，性價(jià)比突出，非常適合各大高校及研究機(jī)構(gòu)選用。

產(chǎn)品名稱	等離子濺射熱蒸發(fā)二合一鍍膜儀
產(chǎn)品型號(hào)	TN-EVS180G-LV
主要特點(diǎn)	等離子濺射和蒸發(fā)二合一，一機(jī)多用，性價(jià)比突出 高純石英腔體作真空腔體，鍍膜過程完全可見 采用高純石英腔體作真空腔體，鍍膜過程完全可見。 儀器標(biāo)配雙極旋片真空泵，能夠快速達(dá)到1.0E-1Pa的真空度
技術(shù)參數(shù)	樣品臺(tái)：直徑80mm, 至蒸發(fā)源距離 20mm~50mm 可調(diào) 濺射頭：直流、尺寸：2inch *1 濺射電源：直流電源 150W max. 蒸發(fā)系統(tǒng)：鎢絲藍(lán)、 max1700℃、S型熱電偶 真空腔體：直徑180mm*150mm、高純石英、頂蓋拆卸式 全向透明 真空系統(tǒng)：機(jī)械泵（旋片泵：1.1 L/S）、極限真空：1.0E-1Pa、電阻規(guī)測(cè)量、KF16 抽氣排氣接口、供電電源：AC;220V 50/60Hz
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：360mm*300mm*470mm、 重量：約20kg、功率1.5KW